Książka zawiera niezbędne wiadomości niezbędne do zrozumienia zjawisk występujących w procesie krystalizacji powłok z fazy gazowej pod obniżonym ciśnieniem. Omówiono w niej termodynamiczną i atomowo-statystyczną teorię zarodkowania powłok. Szczególną uwagę poświęcono metodom nakładania powłok z fazy gazowej z udziałem plazmy, powstającej w różnych rodzajach wyładowań elektrycznych.

Spis treści:
 
PRZEDMOWA 
SPIS OZNACZEŃ 
 
Rozdział 1. PODSTAWY KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW 
1.1. Prędkość cząsteczek gazu 
1.2. Ciśnienie gazu 
1.3. Średnia droga swobodna 
 
Rozdział 2. OTRZYMYWANIE PRÓŻNI 
 
Rozdział 3. KRYSTALIZACJA POWŁOK Z FAZY GAZOWEJ 
3.1. Termodynamiczna teoria zarodkowania 
3.2. Statystyczno-atomowa teoria zarodkowania 
3.3. Wzrost powłoki 
 
Rozdział 4. TERMICZNE NAPAROWYWANIE PRÓŻNIOWE 
4.1. Parowanie 
4.2. Źródła par 
4.3. Zastosowanie termicznego naparowywania próżniowego 
4.4. Mikrostruktura powłok naparowywanych próżniowo 
 
Rozdział 5. CHEMICZNE OSADZANIE POWŁOK Z FAZY GAZOWEJ 
5.1. Podstawowe zjawiska w procesie chemicznego osadzania powłok z fazy gazowej 
5.2. Reakcje chemiczne w procesach chemicznego osadzania powłok z fazy gazowej 
5.3. Termodynamika procesów chemicznego osadzania powłok z fazy gazowej 
5.4. Nakładanie powłok metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej 
 
Rozdział 6. PLAZMA 
6.1. Kwazineutralność plazmy 
6.2. Elementarne procesy w plazmie 
6.3. Temperatura plazmy 
 
Rozdział 7. OTRZYMYWANIE PLAZMY W ELEKTRYCZNYCH WYŁADOWANIACH W GAZIE 
7.1. Przebicie gazu 
7.2. Wyładowanie jarzeniowe prądu stałego 
7.3. Wyładowanie łukowe pod obniżonym ciśnieniem 
7.4. Wyładowanie jarzeniowe częstotliwości radiowej 
7.5. Wyładowanie mikrofalowe 
7.6. Silnoprądowe wyładowanie impulsowe 
 
Rozdział 8. ROLA PLAZMY W PROCESIE OSADZANIA POWŁOK 
8.1. Reakcje chemiczne w plazmie 
8.2. Oddziaływanie jonów z podłożem 
8.3. Krystalizacja z fazy gazowej z udziałem plazmy 
8.4. Mikrostruktura powłok osadzanych z fazy gazowej z udziałem plazmy 
 
Rozdział 9. FIZYCZNE OSADZANIE POWŁOK Z FAZY GAZOWEJ Z UDZIAŁEM PLAZMY 
9.1. Pokrywanie jonowe 
9.2. Parowanie z wykorzystaniem silnoprądowych wyładowań elektrycznych 
9.3. Rozpylanie jonowe 
9.4. Chemiczne nakładanie powłok z fazy gazowej z udziałem plazmy 
 
BIBLIOGRAFIA 
SKOROWIDZ